碎石机设备

碳化硅微粉机械

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研究了金刚石微粉对碳化硅晶片表面机械抛光质量及去除率的影响。选取粒径均为W0.5~1μm、粒径分布和形貌不同的3种金刚石微粉,配置3种SiC单晶片机械抛光液。。

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