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通过昭和真空长年积累的晶体振荡器频率微调技术,可以进行个别频率的调整(可对单个零件进行频率微调)。在节省空间的同时,可根据生产量进行各种调整。测量系统配备了。
2018年3月8日-实验设备:离子束刻蚀频率微调机使用昭和真空生产的SFE-6430T。离子枪的加速钼片到晶片表面的距离为25mm,氩气流量为0.35SCCM。首先,进行较大刻蚀速度对石英晶振,贴。
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