首页 矿业网 / 磁流体超精研磨及弹性发射加工(EEM)与集成电路
LRC第3章-精密磨削和超精密磨削_图文_百度文库LRC/Lyric-
。、水合抛光、弹性发射加工、浮动抛光、磁流体抛光、电泳。众多学者提出了多种抛光方法包括化学机械抛光、水合抛光、弹性发射加工、浮动抛光、磁流体抛光、电泳抛光、快速可更新的研磨抛光等技术其中技术的应用。
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